據珠?？萍籍a業集團官微消息，10月14日，珠海智樺半導體總部基地投產儀式在珠海科技產業集團大灣區智造產業園舉行。據悉，作為智樺半導體戰略布局的核心樞紐，珠?；赜媱澘偼顿Y2億元，建成后年產1000臺套半導體臭氧設備，預計達產后年產值可達10億元，新增就業崗位300個。
資料顯示，智樺半導體深耕半導體臭氧發生領域十余年，已成長為國內少數具備自主研發能力、掌握全套核心部件、軟件及專利技術的專業供應商。核心產品涵蓋高濃度臭氧氣體系統、高純臭氧水系統等系列設備，可精準滿足半導體制造的嚴苛潔凈度要求，能有效去除晶圓表面納米級雜質。
其產品已成功應用于臺灣地區及東南亞多家尖端晶圓制造企業，核心技術指標全面對標業內進口主流品牌：臭氧氣體濃度最高可達420g/m³，臭氧水濃度穩定維持在140ppm以上，成功填補國內半導體清洗設備關鍵部件領域的技術空白。
除標準化產品外，智樺半導體還創新研發了二氧化碳功能水系統等特色解決方案——通過將二氧化碳溶解于超純水中形成酸性功能水，為晶圓清洗提供更環保、更高效的新選擇。
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