據合肥新站區消息，10月15日，新站高新區和鋐棋(合肥)科技有限公司半導體關鍵設備燈罩組件及耗材項目正式簽約，填補了國內半導體核心高精密耗材空白。
鋐棋（合肥）科技有限公司是一家專注于半導體高端精密耗材研發與制造的高新技術企業，致力于在國內實現半導體核心零部件的本土化生產與創新突破，主要產品包括半導體設備中的關鍵耗材，如shower head（氣體分布盤） 和lamp housing（燈罩組件），廣泛應用于先進制程工藝。目前，鋐棋科技已成為國內少數能夠量產5納米先進制程核心零部件的企業之一。
該項目總投資2億元，計劃租賃“芯”視界產業園辦公樓和廠房，主要從事半導體光刻與清洗環節的核心零部件燈罩組件及噴淋頭等耗材的生產制造，將聯合臺灣永康公司共同開展項目運營。該項目建成后，將實現關鍵耗材的國產化替代，以降低對國外供應鏈的依賴，保障產業鏈安全。
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